旋轉(zhuǎn)接頭在半導體行業(yè)中的應用

公布于：2021.11.13

標簽：氣電滑環(huán)，氣動旋轉(zhuǎn)接頭，

本章主要介紹氣電滑環(huán)我們提供流體密封解決方案，幫助半導體領導者生產(chǎn)一些世界上超薄的尖端硅片,半導體制造環(huán)境要求無污染的集成，并嚴格要求保持高水平的精度和性能,半導體行業(yè)精密流體旋轉(zhuǎn)接頭解決方案供應商。 我們提供獨特的設計優(yōu)勢，可滿足 CMP 和自動化系統(tǒng)的嚴格要求。

旋轉(zhuǎn)接頭的高精度和緊湊型旋轉(zhuǎn)接頭專為潔凈室環(huán)境而設計，為各種機械拋光操作提供可靠的流體傳輸解決方案。 能夠處理磨蝕性和腐蝕性介質(zhì)的專業(yè)密封技術(shù)以及廣泛的溫度范圍可確保較長的使用壽命，減少 CMP 系統(tǒng)停機時間

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部分旋轉(zhuǎn)接頭型號參考：

2進2出氣滑環(huán)，氣電滑環(huán)

4進4出旋轉(zhuǎn)接頭，4路氣動滑環(huán)

6進6出氣滑環(huán)，氣動滑環(huán)

8進8出氣動旋轉(zhuǎn)接頭，高速滑環(huán)

液壓旋轉(zhuǎn)接頭，液壓滑環(huán)

單通道高速旋轉(zhuǎn)接頭-MG系列

SMC回轉(zhuǎn)接頭，MQR系列旋轉(zhuǎn)接頭

防水滑環(huán)，水下工作滑環(huán)，IP61滑環(huán)

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